sg2025002942001高真空镀膜机与手套箱
· 2025-06-04
| 申购单号： | CB106142025000056 | 签约时间： | 发布竞价结果后7天内签约合同 |
| 申购主题： | SG2025002942001高真空镀膜机与手套箱 | 送货时间： | 合同签订后60天内送达 |
| 采购单位： | 电子科技大学 | 安装要求： | 免费上门安装（含材料费） |
| 报价要求： | A | 收货地址： | 四川省/成都市/郫都区/**** |
| 发票类型： | 增值税普通发票 | 币种： | 人民币 |
| 预算： | 400000.0 | 付款方式： | 货到验收合格后付款 |
| 备注说明： | None |
| 采购内容 | 数量 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 |
| SG2025002942001高真空镀膜机与手套箱 | 1.0None | 400000.0 | 光拓与威格 | GT300与SG2400/750TS | 高真空镀膜系统由底盘结构，基片架装置，蒸发源，控制软件，膜厚控制系统，真空室，真空系统等组成。一、底盘结构：1.采用型材搭建或焊接式框架，外观要求氧化处理或喷漆，防止生锈，配可以打开的磁吸柜门；2.底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。3.带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面。4.电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体式。二、基片架结构1.*可以固定1片100mm x 100mm的基片，向下兼容，采用嵌入式结构。 2.电机驱动实现连续旋转，最大转速可达30转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接。3.配有二个挡板，气缸驱动，二个挡板组合使用，可遮挡范围100mm x 100mm。4.腔体门板上安装有长条形观察窗，并附带挡板，通过磁流体打开与关闭。三、蒸发源1.4组蒸发源，热阻式，用于材料蒸发，可蒸发常见金属、有机及金属氧化物以及其它材料，源与基片的垂直距离≥350mm。2.每个蒸发源电极均采用水冷式结构，以便可以长时间蒸镀。3.每组蒸发源的上方同时配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，防护板通过气缸驱动，打开方式：左右旋转。4.源与源之间装有隔板，并避免源与源之间材料相互污染。5.蒸发电源，功率不小于1.5KW，精度0.1A，用于蒸发材料。配合膜厚仪，能够实现自动蒸镀。四、自动化控制软件1.*采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成，显示器通过机械手臂固定在设备框架。带有一键自动蒸镀功能。 2.控制软件的真空系统分为自动和手动模式，可以随时切换。五、膜厚控制系统 1.2个标准晶振传感器，均为水冷式，安放于基底附近。2.晶振探头，膜厚仪与蒸发电源之间可实现闭环控制，用于控制电源功能及速率稳定性。3.*膜厚速率显示精度在±0.01A/S，蒸镀速率，可蒸金属: 以Àg为标准，蒸镀速率: 速度稳定性:≤±10%(0.1-0.5A/s)，≤±5%(0.5-10A/s)，≤±4%(>10A/s)；单片内膜厚匀性≤5%。六、真空室1.真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为300mm*300mm*530mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。2.*真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭，后期也可以连接手套箱，在手套箱内部操作前门开关，确保整个工作环境处于氮气或惰性气体氛围中；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。3.腔体极限真空优于3.5*10-5pa，从常压到5*10-4pa不超过15min（充氮气保护）4.带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，打开腔室,进行样品及材料的更换。5.腔体内表面预留安装金属防污挡板接口，并配备金属防污挡板。七、真空系统1.前级泵的抽速不低于16m ³/h。2.主泵采用抽速≥700l/s的分子泵。3.主泵和腔室之间安装有气动插板阀，通径≥160mm。4.自动抽 |
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